日本株式會社KELK是制作超純水加熱器、精密溫度控制器的專業廠家，原名日本小松制作所（KOMATSU），有55年的研發和制造經驗。

與日本CREEN公司及其他半導體設備公司合作，KELK的超純水加熱器被廣泛應用于FPD、半導體、鋰電池、太陽能電池的清洗生產線中，

憑借著技術，受到了美國、歐洲、中國臺灣和韓國等地著名半導體工廠的青睞。

超純水加熱器PWH-i系列是KELK的最新產品，量產始于2007年，加熱用石英組件、純水循環回路等關鍵配件均在無塵實驗室完成，采用高效高壽命的鹵素燈近紅線加熱方式，實現無污染、無損害、高效率加熱，主要用于清洗半導體制造生產線上的硅晶片和液晶制造生產線上的玻璃基板。

產品主要特征

１. 清潔

加熱部的容器采用高純度石英，配管采用氟樹脂材料，加熱過程潔凈、無雜質、無污染。

２. 體積纖巧

采用超薄型纖巧設計，大大節省了置放空間。

３. 高性能溫度調節

采用高功率輸出的鹵素燈，可實現快速升溫并根據流量變化來調節溫度。

４. 高效率

加熱效率達95%以上。

５. 安全

具備對應過高溫、干燒及漏夜等異常現象的安全功能及報警功能。

主要用途 

1. 清洗硅晶片。

2. 清洗液晶玻璃基板。

3. 可代替其他用氟利昂清洗的溫純水清洗